Semiconductors for Micro- and Nanotechnology

Halbleiter spielen eine wesentliche Rolle in der modernen Mikrotechnologie, besonders in der Mikroelektronik. Da die Dimensionen von neuen Mikroelektronikkomponenten, z.B. Computerchips, jetzt Nanometergröße erreicht haben, bewegt sich die Halbleiterforschung von der Mikrotechnologie hin zur Nanotechnologie. Das Verständnis der Halbleiterphysik, die mit dieser Technologie verbunden ist, ist für jeden Ingenieurstudenten bes. der Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik und Physik, von großer Bedeutung. Das Buch betont besonders eine systemorientierte Sicht der Halbleiterphysik für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik. Die bereits vorhandenen Bücher decken nur die Physik elektronischer Bauteile ab und sind hauptsächlich für Physikstudenten geschrieben. Es ist das Ziel dieses Buches Halbleiterphysik praxisorientiert zu vermitteln und die Studenten der Ingenieurwissenschaften nicht mit unnötigen mathmatischen Formeln zu belasten.

Autorentext
Jan G. Korvink holds a Chair for Microsystem Technology at the University of Freiburg, Germany, where he runs the laboratory for microsystem simulation. He has co-authored more than 100 papers in scientific journals and conference digests, as well as numerous book chapters and a book on semiconductors for engineers. His research interests cover the modeling and simulation of microsystems and the low-cost fabrication of polymer-based MEMS. Andreas Greiner is full professor for polymer chemistry and technology at the Philipps-University of Marburg, Germany. He studied chemistry at the University of Marburg and earned his doctorate there in 1988. After a postdoctoral stay with D. Pearson and H.-W. Schmidt in Santa Barbara, he returned to Marburg, where he completed his habilitation in macromolecular chemistry in 1995. In the same year, he took upa professorshipat the University of Mainz, and in 2000, he became Professor of Macromolecular Chemistry in Marburg. His research interests include the classical synthesis of monomers and polymers, the synthesis of functional polymers, nanotechnology, as well as the applications of polymers in optics, electronics, and medicine.

Inhalt
Introduction The Crystal Lattice System The Electronic System The Electromagnetic System Statistics Interacting Subsystems Classical and Semi-Classical Transport Theory

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