Kantenisolation von Solarwafern
Einband:
Kartonierter Einband
EAN:
9783639626063
Untertitel:
Untersuchung laserbasierter Prozesse zur Kantenisolation von Solarwafern
Genre:
Chemische Technik
Autor:
David Haldan
Herausgeber:
AV Akademikerverlag
Anzahl Seiten:
64
Erscheinungsdatum:
23.04.2014
ISBN:
978-3-639-62606-3
Kantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten Ätzpasten mittels CO2-Laser. Über Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante geätzt. In Abhängigkeit des Isolationsgrades wurden die Spurbreiten der aufgetragenenen Paste sowie die Laserparameter Intensität und Vorschubgeschindigkeit untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die Wafer unter bestimmten Parameter isoliert werden können.
Autorentext
David Haldan,Jahrgang 1985, Ausbildung zum Physiklaboranten von 2005-2009 am institut für Oberflächenmodifizierung. Studium in der Fachrichtung "Physikalische Technik" an der Hochschule Mittweida von 2009-2014. Bachelor über "Untersuchung laserbasierter Prozesse zur Kantenisolation von Solarwafern"
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